S6 · UHP 316L لأشباه الموصلات
semiconductor UHP 316L (قائمة المواد والمعادن وحدود المواصفات)
أعدّ قائمة من 4 أجزاء رئيسية / ظروف عمل متعلقة بـ semiconductor UHP 316L: توصيات المواد، المواصفات، الأسباب الرئيسية للفشل والمعايير.
4 أجزاء وقائمة التحقق
| المنطقة / القطعة | التوصيات المعدنية | المواصفات / السماكة | السطح | ظروف الفشل الرئيسية | المعايير المرجعية |
|---|---|---|---|---|---|
| أنابيب توصيل الغاز UHP | 316LVIM-VAR | S 0.005–0.010%؛ O ≤7ppm؛ الشوائب ASTM E45 A/B/C/D فئة خفيفة≤0.5 | Ra≤0.25μm للفرشاة الكيميائية؛ Ra≤0.13μm للاهتزاز الكهربائي؛ Ra≤0.05μm للجودة العالية | سبب الفشل الرئيسي هو عدم الاستقرار؛ التآكل بين الحبيبات/منطقة حرق الفراغ غير مهمة لكنها لا تُغفل | SEMI F20 Grade 5؛ SEMI F19؛ SEMI F57 |
| خزانات الغاز والبوابات والبوابات المزدوجة | 316LVIM-VAR تصنيع الأجزاء | S≤0.005%؛ C منخفض جداً | Ra≤0.2μm للفرشاة الكهربائية؛ بدون حديد حر | المسافة بين قاعدة الحاجز وجدار الأنبوب أكبر من d لتشكيل منطقة تجميد فائقة؛ التآكل بالغازات ذات الخصائص القوية | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| أنابيب CMP/الكيميائيات الإلكترونية المبللة | 316Lغلاف EP/PFA/PTFE | وفقاً لـSEMI F20 للتركيب | Ra≤0.2μm | تآكل + حمض قوي/أكسيد قوي + تراكم الكتل | SEMI F20؛ SEMI F57 |
| غلاف فراغي/فولاذ عازل | 304L/316Lمستوى الفراغ | نسبة التبخر المنخفضة هي المفتاح، لا علاقة لها بالصوديوم أو الأكسجين | 2B/شد إلكتروني/تبييض بالحمض | معدل التبخر غير مطابق → انخفاض في درجة الفراغ؛ تسرب أثناء السباكة | ASTM A240؛ ISO 3669 |
داخل الصندوقالإعدادات العادية. جزء واحد بمعالجة مختلفة في وسط ودرجة حرارة وأسلوب سباكة قد ينتقل من 304 إلى 316L أو 2205 —— اشرح ظروف الاستخدام، فالتحديد يتجاوز الأسماء الصناعية فائدة.
النقاط الرئيسية للخياطة
- هذا هو الأكثر شيوعاً في هذا الصنف: 316L (4)، 304L (1) —— الأرقام بين الأقواس هي عدد الأجزاء المتأثرة، يمكن استخدامها كنقطة انطلاق للتقدير والتحضير.
- في وسط حمضي، 316L فقط هو البداية، مع زيادة التركيز ودرجة الحرارة ستكون 904L / البلاتينيوم (2/4 عناصر مطابقة).
- السماكة من 0.005–0.01 مم: القطع الخفيفة غالباً ما تكون أجزاء تشكيل (يجب مراعاة الانحناء والتأرجح والتشقق أثناء التشكيل)، والقطع الثقيلة غالباً ما تكون أجزاء لحام (يجب مراعاة الدخول الحراري والتآكل).
الأسئلة الشائعة
semiconductor UHP 316L: سبيكة SEMI F20 للحد الأقصى من الكبريت/الأكسجين/الشقوق/Ra تستخدم أي نوع من السبائك النادرة؟
وفقاً لعدد الصفحات، الأكثر شيوعاً هو 316L (4)، 304L (1). وفقاً للجزء المحدد، يجب النظر إلى الفراغ والمادة ودرجة الحرارة، مثل نفس الجرار من السبيكة النادرة، إذا كان التفاعل مع ماء البحر، فسيكون من الضروري تغيير 304 إلى 316L.
أين هي الأجزاء الأكثر عرضة للخطر؟
وفقاً لوصف الفشل، هو "خطوة UHP للنقل الجوي": التلوث بالجزيئات/المعدنيات هو العنصر الرئيسي للتلف؛ التآكل البلوري/حافة الحرق البديلة ولكن لا يمكن تجاهلها؛ النصوص الموصى بها 316L VIM-VAR، المواصفات S 0.005–0.010%؛ O ≤7ppm؛ ASTM E45 الفئة الدقيقة≤0.5. هذه الحالة يجب أن يتم تحديد تركيز المادة ودرجة الحرارة وطريقة التنظيف في مرحلة الرسومات.
ما هو القياس الذي يجب اختياره؟
المنطقة المحددة للسماكة في القائمة هي 0.005–0.01 مم.
المواد
316Lالمواد والمواصفات ذات الصلة304Lالمواد والمواصفات ذات الصلةمسامير وصواميل للصناعة: A2-70/A4-70/A4-80/سلسلة D ومواصفات حديثةمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأمرشحات الفولاذ المقاوم للصدأ والمرشحات البحرية: 2205/2507 حدود الضغط والتغيرات الجوية والتآكلشفة مزدوجة وتحلية المياهالصمامات الصحية والأدوات النظيفة: ASME BPE، حدود درجات الحرارة المنخفضةالصمامات الصحية